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隨著科技的飛速發展,半導體行業在現代社會中扮演著越來越重要的角色。在這個高科技領域中,工業陶瓷以其優異的性能,在半導體制造和封裝過程中發揮著至關重要的作用。本文將為您介紹半導體行業中常用的工業陶瓷材料。 一、導熱陶瓷 &nbs
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半導體制造設備中使用了大量的精密陶瓷部件,這些陶瓷部件具有高硬度、高彈性模量、高耐磨、高絕緣、耐腐蝕、低膨脹等特點,廣泛應用于各種半導體設備中,如硅片拋光機、外延/氧化/擴散等熱處理設備、光刻機、沉積設備,半導體刻蝕設備和離子注入機等。 &nbs
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