藍(lán)寶石結(jié)構(gòu)件 在工業(yè)生產(chǎn)中，人造藍(lán)寶石是一種常見(jiàn)的材料，采用藍(lán)寶石制造的零配件可用于：分析儀器、壓力傳感器、搬運(yùn)臂（機(jī)械手）、晶圓舟等。利用在晶圓舟上的藍(lán)寶石材料純度可達(dá)99.9%，這種高純度的藍(lán)寶石具有良好的耐熱性以及等離子體阻抗，且微粒雜質(zhì)有限，可用于半導(dǎo)體工藝設(shè)備的零